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SOI / Silicon-on-insulator -Bonding

 Open this result in new window 2006年06月23日
Bonding By using bonding chemistry between silicon (Si) and silicon dioxide(SiO2) or between SiO2 and SiO2 effectively, two Si wafers are tightly bonded with a SiO2 layer as an insulator inside the bonded pair. After one side of the Si bulk is.....
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