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半导体器件设备-片盒清洗机
2007年11月07日
半导体器件设备-片盒清洗机 1.设备由五大部分组成:清洗槽部分、伺服系统及机械臂部分、层流净化系统、电气控制系统、机架及整机。 2.清洗槽部分由有机溶剂槽、去离子水槽、酸槽或碱槽等组成。.....
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